文章目录

0 引言

1 气浮式运动平台和激光干涉仪

2 测试方法及过程

2.1 定位重复精度

2.2 直线度和平面度

2.3 姿态角误差

3 实验结果与分析

4 结束语

文章摘要:为推进国际天文底片数字化工作,上海天文台正在开展高精度天文底片专用扫描仪的研制;两轴线性运动平台是高精度天文底片扫描仪的核心部件,需要对其各项参数进行标准化测试,以获取其对天文底片数字化精度的直接影响;基于激光干涉测量原理,使用RENISHAW XL80激光干涉仪搭建测量光路,对正在研制的天文底片扫描仪所用气浮式运动平台关键性能进行了测试;结果表明,在350 mm×350 mm工作范围内,气浮式运动平台载物台的定位重复精度优于0.025μm,直线度和平面度优于0.3μm,俯仰角和偏摆角误差小于0.3″;该平台满足高精度天文底片扫描仪设备的研制需求,测试结果不仅可为扫描仪设备的整体性能评估提供参考,也可为后续的位置系统差补偿提供依据。

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